1.伺服电机搭配丝杆结构,丝杠副、联轴节等中间传动环节产生较大转动惯量、弹性形变、反向间隙、运动滞后、摩擦、振动、噪声及磨损。直线电机运动台不存在中间传动环节,提高运动台整体精度,运行速度平稳。负载惯量和系统带宽相对较大,有良好的动态特性。
2.直线电机运动平台配合光栅尺做闭环控制,整体结构紧凑,安装方便,精度高。
3. 伺服电机丝杆运动台的速度及加速度比直线电机运动平台小很多,后者能达到2m/s,加速度可高达3g,如果更高的加速度,需要特殊定制。
瑞邦精控提供高精度直线电机定位平台全套解决方案,包含气浮直线电机平台、精密线轨直线电机平台和多轴定制直线电机平台,广泛应用于半导体、超精密加工、精密检测、3d打印、基因测序等行业